無塵室主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵室。

     每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A。潔凈室（無塵室）吸塵器的主要組成：大扒頭：當清掃地面面積較大時，使用大扒頭可有效快速的提高工作效率。應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。

    無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

無塵室控管項目：

   1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

   ⒉ 能防止微塵粒子之產生。

   ⒊ 溫度和濕度之控制。

   ⒋ 壓力之調節。

   ⒌ 有害氣體之排除。

   ⒍ 結構物與隔間之氣密性。

   ⒎ 靜電之防制。

   ⒏ 電磁干擾預防。

   ⒐ 安全因素之考慮。

   ⒑ 節能之考量。

   ⒒照度的的調節

  在電子元件制品的制造過程中，微粒子污染對成品率有重大影響，故應在過程中嚴格控制微粒子的數量，遵守“不攜入、不發生、不儲備、除去”四項基本原則以防止微粒子污染。

　　無塵室內防止微粒子污染基本原則：

      排除/除去

　　在無法避免大量微粒子發生的機臺中，為了不讓無塵室內產生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。機器及材料帶進無塵室前，應盡可能在密封狀態下帶進無塵室前室保養后用超純水擦拭，經風淋室吹淋后才進入無塵室。針對排氣的對策如下：由于導入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣，負離子檢測儀而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內之對策。